1、1上游工艺气体流量波动2工作液流量波动3排气管路有堵塞4长期运行造成的断面间隙变大5驱动机通常为电机与从动机真空泵的连接不达标，即不同轴6轴承寿命到期，磨损严重；3 泵的密封不良可能是由于密封件老化或损坏导致的，需要更换密封件4 泵的电机故障可能是由于电机损坏或电源问题导致的，需要检查电机或电源5 泵的真空度不足可能是由于泵的真空度不够高导致的，需要更换更高；水冷电机烧坏后打开，要仔细观看水珠的来源1有可能水冷电机制造厂家质量不过关，长时间运行压力大会漏水2电动机是因为使用问题比如水量不够堵塞等等造成电机发热后电机隔水层破坏进水所以应观察进水部位判断问题。

2、40kW及以上的电机启动电流大，用磁力起动器容易产生火花烧坏触头，而用真空电磁起动器则能很好地灭弧故40kW及以上的电机应采用真空电磁起动器。

3、任何电机，不论功率大小，均允许直接启动运行，与是否真空环境无关，关键是电网的容量是否支持电机直接启动另外，真空环境下，无任何导电介质，电机是不会发生放电击穿的；因素比较多，比如电压不稳，过高或者过低，或者接触不良等，然后机械方面比如轴承磨损，摩擦加大造成负载加大等要具体分析。

4、2检查电机，根据电机额定电压，将电机接电源3观察电机是否运转正常，如果不转则可能是电机故障4检查控制器，用万用表搭在控制器对电机的输出线上5调节控制器检查是否给出电机的输出电压信号真空泵是指利用。